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而CVD生长可通过调节生长化学过程更好地控制杂质的掺入,厂氢产线并通过各种工艺方法,从而能够提供适用于金刚石光电应用的高质量大尺寸单晶金刚石。金属铱Ir是目前唯一可实现高质量、动力大尺寸金刚石薄膜异质外延的衬底材料,但对于大多数应用而言,缺陷密度仍然很高。金刚石接合型成场效应管、模块肖特基势垒二极管和MOSFET等即使在高温下也可以具有相当高的电学性能[2]。
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